纳米位置控制系统自适应滤波器设计

侯静, 刘涛, 刘金鑫, 韩子扬
Design of the Self-adaptive Filter for Nanometer Positioning Control System
HOU Jing, LIU Tao, LIU Jin-xin, HAN Zi-yang
控制工程 . 2019, (6): 1153 -1157 .