控制工程

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双重预测PI控制在单晶硅生长炉中的应用

  

  • 收稿日期:2014-12-03 修回日期:2015-03-29 出版日期:2015-04-13 发布日期:2015-04-13

  • Received:2014-12-03 Revised:2015-03-29 Online:2015-04-13 Published:2015-04-13