原子力显微镜中 PID 参数最优控制策略研究

彭继慎, 海东琦, 胡善华, 胡朋举, 孔繁会

Research on Optimal Control Strategy of PID Parameters in Atomic Force Microscope

PENG Ji-shen, HAI Dong-qi, HU Shan-hua, HU Peng-ju, KONG Fan-hui

控制工程 . 2021, (6): 1130 -1135 .