六甲基二硅胺烷与六甲基二硅氮烷间歇生产过程监控

六甲基二硅胺烷与六甲基二硅氮烷间歇生产过程监控

李智豪, 陈子豪, 郑年年, 栾小丽, 刘飞

Monitoring for Batch Process of Hexamethyldisilane and Hexamethyldisilazane

LI Zhi-hao, CHEN Zi-hao, ZHENG Nian-nian, LUAN Xiao-li, LIU Fei

控制工程 . 2021, (12): 2451 -2455 .