应用于光刻机掩模台的自适应前馈控制
谈恩民, 石婷婷, 张志钢, 张霖
Adaptive Feedforward Control for Reticle Stage of Lithography
TAN En-min, SHI Ting-ting, ZHANG Zhi-gang, ZHANG Lin
控制工程 . 2021, (6): 1069 -1074 . 

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